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    2. 產品詳情
      • 產品名稱:碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀

      • 產品型號:TN-PEC250G-HV
      • 產品廠商:成越科儀
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      簡單介紹:
      碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀可進行真空蒸碳、真空熱蒸發和等離子濺射,它也可以在高純氬氣的保護之下進行多種離子處理,碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀采用機械泵和分子泵,實現高真空。
      詳情介紹:

      ○ 產品介紹

      TN-PEC250G-HV碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀可進行真空蒸碳、真空熱蒸發和等離子濺射,它也可以在高純氬氣的保護之下進行多種離子處理。通過更換功能套件,設備可以在多種功能間快速切換,非常適合實驗室制作SEM樣品使用。本儀器裝有機械泵和分子泵,能夠滿足多種真空度要求,尤其能夠實現高真空,能夠有效提高鍍膜質量。

      ○ 適用范圍

      實驗室鍍膜使用。

      ○ 技術參數

      真空腔體
       高純石英,鐘罩狀,φ250x340mm
      蒸發腔體 
       高純石英,鍍罩狀,帶側面開孔,尺寸φ88x150mm
      等離子濺射腔體
       高純石英,鍍罩狀,帶側面開孔,尺寸φ88x150mm


       等離子濺射套件 

       濺射電壓1600V

      *大電流50mA
      靶面尺寸2英寸
      工作真空10Pa~20Pa
      工作氣氛需通入高純氬氣


      熱蒸發鍍膜套件

       蒸發源數量2個

      *大電流100A
      工作真空10^-3Pa
      工作氣氛不通入任何氣體
      樣品臺直徑φ60mm,可旋轉


       


       碳蒸發套件

       蒸發方式碳棒蒸發

      *大電流160A
      工作真空10^-3Pa
      工作氣氛不通入任何氣體
      真空系統
       產品型號TN-GZK103-A
      分子泵渦輪分子泵
      前極泵雙極旋片泵
      抽氣速率分子泵:600L/S綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達:5×10E-3Pa
      旋片泵:1.1L/S
      極限真空5×10E-4Pa
      抽氣接口KF40
      排氣接口KF16
      真空測量復合真空計
      進氣系統
       配有手動微調閥,接口為1/4英寸卡套接頭
      供電要求
       AC 220V 50Hz

      ○免責聲明

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