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    2. 產品詳情
      • 產品名稱:雙靶磁控及蒸發復合鍍膜儀

      • 產品型號:CY-MS500S-2TA1S
      • 產品廠商:成越科儀
      • 產品文檔:
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      簡單介紹:
      雙靶磁控及蒸發復合鍍膜儀不銹鋼真空腔體、磁控濺射靶,蒸發鍍膜裝置,放置樣品的樣品臺,真空泵機組、真空測量規管,進氣系統和控制系統組成。雙靶磁控及蒸發復合鍍膜儀可用于電子產品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。
      詳情介紹:

      CY-MS500S-2TA1S雙靶磁控及蒸發復合鍍膜儀可用于電子產品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。尤其適合實驗室SEM(掃描電鏡)的樣品制備。

      設備主要由不銹鋼真空腔體、磁控濺射靶,蒸發鍍膜裝置,放置樣品的樣品臺,真空泵機組、真空測量規管,進氣系統和控制系統組成。

      設計特色

      1. 設備主機采用觸摸顯示屏操作,溫控表檢測。其數字化參數界面和自動化操作方式為用戶提供了優良的研發平臺。

      2. 真空室采用下置靶設計,樣品臺具有加熱和旋轉但是功能,可以使鍍膜效果更加均勻。

      3. 設備真空獲得系統采用兩級真空泵組,前級泵為大抽速機械泵,有效縮從常壓至低真空的時間,主泵為渦輪分子泵,抽速高,真空獲取速度更快。 整體真空獲得系統干凈快速。

      4. 真空腔體采用304不銹鋼制成,配有觀察窗口及擋板。造型美觀做工精細,真空性能優異。

      5. 主要密封法蘭采用 CF系列高真空密封法蘭。真空腔體各接口均采用橡膠密封圈密封,真空性能優良,能有效保證鍍膜質量。

      技術參數

      磁控濺射頭

      數量

      2英寸 x2

      冷卻方式

      水冷

      蒸發系統

      蒸發源

      鎢絲籃

      *高溫度

      1500℃

      熱電偶

      S型熱電偶

       

       

      真空腔體

      腔體尺寸

      φ300mm X 300mm

      觀察窗口

      φ100mm

      腔體材料

      304不銹鋼

      開啟方式

      前開門式

      真空系統

      機械泵

      旋片泵

      抽氣接口

      KF16

      抽氣速率

      1.1L/s

       

       

      分子泵

      渦輪分子泵

      抽氣接口

      CF150

      抽氣速率

      600L/s

      排氣接口

      KF40

      真空測量

      電阻規+電離規

       

       

      極限真空

      1.3x10-4Pa

      供電電源

      AC;220V 50/60Hz

      電源配置

      直流電源數量

      1臺

      輸出功率

      ≤1000W

      輸出電壓

      ≤600W

      響應時間

      <5ms

      射頻電源數量

      1臺

      輸出功率

      ≤1000W

      功率穩定度

      ≤5W

       

       

      射頻功率

      13.56MHz

      射頻穩定度

      ±0.005%

      膜厚監控系統

      膜厚儀測量分辨率

      ±0.03Hz

      測量精度

      ±0.5%

      測量上限

      50000

      測量速度

      100~1000ms

      水冷系統

      水箱容積

      9L

      流量

      10L/min

      供氣系統

      流量計類型

      質量流量計

      量程

      200sccm

      氣體類型

      Ar氣

       

       

       

      其他

      供電電壓

      AC220V,50Hz

      整機尺寸

      1400x750x1300mm

      整機功率

      4kw(主機+真空泵)

      整機重量

      295kg

      樣品臺 

      樣式一:尺寸150mm,加熱溫度≤500℃ 控溫精度±1℃, 旋轉速度1-20r/min


      樣式二:尺寸φ150mm,高度 上下70mm精準可調,旋轉速度1~20rpm,加熱溫度 0~500℃



      豫公網安備 41019702002438號

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